特許

J-GLOBAL ID：200903020389978724

走査電子顕微鏡

発明者： 富澤 淳一郎 ,  川俣 茂 ,  伊東 祐博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-152487
公開番号（公開出願番号）：特開平10-003875
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【目的】 走査電子顕微鏡の観察視野の選択を容易にする。【構成】 撮像装置13による試料5の光学的画像を画像メモリ8bに記憶し、画像メモリ8bから再生した画像上に観察枠を表示する。制御回路10は、その枠の位置と大きさに応じて試料ステージ6の位置と、偏向コイル2の設定を変え、電子顕微鏡の試料位置と倍率設定を自動で切替えることで観察視野の選択を容易にする。

請求項（抜粋）：

集束された電子ビームを試料上に走査するための偏向手段と、試料を移動させるための試料移動手段と、試料の光学像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された画像を記憶する画像メモリと、前記画像メモリに記憶された画像を表示する画像表示手段と、前記画像表示手段に表示された前記試料の光学像に重ねて観察枠を表示する手段と、制御手段とを備え、前記制御手段は、前記観察枠に応じた電子顕微鏡像が得られるように前記試料移動手段及び前記偏向手段を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/20

FI (4件)：

H01J 37/22 502 C ,  H01J 37/22 502 B ,  H01J 37/22 502 L ,  H01J 37/20 D

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 電子顕微鏡の試料位置制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-360915   出願人：有限会社電子光学研究所
• 走査形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-276442   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭57-205954
  
• 特開昭58-042151
  

審査官引用 (4件)

• 電子顕微鏡の試料位置制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-360915   出願人：有限会社電子光学研究所
• 走査形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-276442   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭57-205954
  
• 特開昭58-042151