レーザアブレーション型イオン源

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院大阪工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287956
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111185
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】固体原料から効率良くイオンを取り出すことができ、寸法が小さく且つ調整が容易なイオン源を提供する。【解決手段】第1チャンバ11、第2チャンバ12及び第3チャンバ13で構成される真空チャンバと、真空チャンバ内に高密度レーザ光を入射するレーザ光源14と、第1チャンバ内のレーザ光照射位置にイオン発生用の原料固体Sを保持する保持部111と、真空チャンバ内のレーザ光路上において、保持部よりレーザ光源側に順次配置されたイオン引き出し電極112、加速用電極113及び質量分析器121とを備え、前記電極は、レーザ光路上にレーザ光源からのレーザ光L及び発生したイオンを通過させる透過孔を備え、質量分析器121は、透過孔を通過した特定のイオンBをその質量に応じてレーザ光路から外れた方向に導く質量分離電磁石を備え、レーザ光路に相当する箇所に透過窓122が設けられている。

請求項（抜粋）：

真空チャンバと、該真空チャンバ内に高密度レーザ光を入射するレーザ光源と、前記真空チャンバ内のレーザ光照射位置にイオン発生用の原料固体を保持する保持部と、前記真空チャンバ内のレーザ光路上において、前記保持部よりレーザ光源側に順次配置されたイオン引き出し及び加速用の電極及びイオン分離用の質量分析器とを備え、前記電極は、前記レーザ光路上に前記レーザ光源からのレーザ光及び原料固体で発生したイオンを通過させる透過孔を備え、前記質量分析器は、前記透過孔を通過した特定のイオンをその質量に応じてレーザ光路から外れた方向に導く質量分離電磁石を備え、前記レーザ光路に相当する箇所にレーザ光透過用の透過窓が設けられていることを特徴とするイオン源。

IPC (6件)：

H01J 27/24 , C23C 14/32 , C23C 14/48 , H01J 37/05 , H01J 37/08 , H01L 21/265

FI (6件)：

H01J 27/24 , C23C 14/32 A , C23C 14/48 Z , H01J 37/05 , H01J 37/08 , H01L 21/265 603 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-225459
特開昭60-001743

前のページに戻る