特許
J-GLOBAL ID：200903082525499814

磁気浮上型ステージ

発明者：
大関 尚夫

大関 尚夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-166345
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017848
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 可動ステージの高速駆動および高精度な位置決めを可能とするとともに、クリーン度を低下させず、真空中でも使用可能な磁気浮上型ステージを提供する。【構成】 固定ステージ1と固定ステージ1に沿って駆動される移動ステージ4とを有する磁気浮上型ステージにおいて、移動ステージ4および固定ステージ1のいずれか一に設けた磁石群5により作り出された磁束中で他に設けた電線24に電流を流し、電線24に生ずるローレンツ力を利用して移動ステージ4にZ方向の力を付与する。
請求項（抜粋）：
直交座標系の3軸をX、Y、Zとし、各軸回りの回転角をα、β、θで表すとき、固定ステージと、前記固定ステージに沿ってXY平面内の任意の位置に駆動される移動ステージとを有する磁気浮上型ステージにおいて、前記移動ステージおよび前記固定ステージのいずれか一方のステージに設けた磁石群により形成された磁束中で他方のステージに設けた電線に電流を流すことにより前記移動ステージにZ方向の力を付与することを特徴とする磁気浮上型ステージ。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 1/25 ,  B65G 54/02 ,  G05D 3/00
FI (4件)：
H01L 21/68 K ,  B65G 54/02 ,  G05D 3/00 A ,  B23Q 1/02 T
引用特許：
審査官引用 (10件)
  • 精密1段6自由度ステージ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-218367   出願人：松下電器産業株式会社
  • 位置決め装置及び位置決め方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-243099   出願人：旭硝子株式会社
  • 移動案内装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-327179   出願人：松下電器産業株式会社
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM