特許
J-GLOBAL ID：200903082542428149
クリーンルーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329410
公開番号（公開出願番号）：特開2003-130413
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：
【要約】【課題】 ワークの搬送経路を簡単な構造で局所的に高グレードな清浄度とすることができ、クリーンルーム全体を高グレードな清浄度とする必要をなくして、大掛かりな空調設備を不要とし得、設備費並びに運転費を削減し得るクリーンルーム装置を提供する。【解決手段】 プロセス側受渡口18の上下縁部に外方へ張り出すプロセス側庇部材1を取り付けると共に、搬送側受渡口22の上下縁部に、ワーク15の移載時に搬送側受渡口22をプロセス側受渡口18へ対向させた際に前記プロセス側庇部材1に対し上下方向へ所要の隙間をあけて重なり合うよう外方へ張り出す搬送側庇部材2を取り付け、ワーク15の移載時に搬送側受渡口22をプロセス側受渡口18に対向させた状態でその間の空間にクリーンフローによるエアパージが行われるよう構成する。
請求項（抜粋）：
内部が低グレードな清浄度に保持されるクリーンルームと、内部が前記クリーンルームの内圧より陽圧となるよう高グレードな清浄度に保持され且つワークを収容可能な受渡部と、該受渡部の側面に開口され且つワークを出し入れ可能なプロセス側受渡口と、該プロセス側受渡口を開閉可能なプロセス側気密扉とを有し、前記クリーンルーム内に設置されるプロセス装置と、内部が前記クリーンルームの内圧より陽圧となるよう高グレードな清浄度に保持され且つワークを収容可能な搬送室と、該搬送室の側面に開口され且つワークを出し入れ可能な搬送側受渡口と、該搬送側受渡口を開閉可能な搬送側気密扉と、前記搬送室とプロセス装置の受渡部との間でワークを受け渡し可能な移載装置とを有し、前記クリーンルーム内に走行可能に配設される搬送台車とを備え、前記プロセス側受渡口の上下縁部に外方へ張り出すプロセス側庇部材を取り付けると共に、前記搬送側受渡口の上下縁部に、ワークの移載時に搬送側受渡口をプロセス側受渡口へ対向させた際に前記プロセス側庇部材に対し上下方向へ所要の隙間をあけて重なり合うよう外方へ張り出す搬送側庇部材を取り付け、ワークの移載時に搬送側受渡口をプロセス側受渡口に対向させた状態でその間の空間にクリーンフローによるエアパージが行われるよう構成したことを特徴とするクリーンルーム装置。
IPC (5件)：
F24F 7/06
, B65G 49/00
, B65G 49/06
, B65G 49/07
, H01L 21/68
F24F 7/06 C
, B65G 49/00 A
, B65G 49/06 Z
, B65G 49/07 C
, H01L 21/68 A
3L058BD00
, 3L058BE02
, 3L058BF08
, 3L058BF09
, 3L058BG01
, 5F031GA57
, 5F031MA11
, 5F031NA02
, 5F031NA07
, 5F031NA17
