特許

J-GLOBAL ID：200903082549417010

プローバ及びプローブカードの変位量測定方法

発明者： 和田 榮造
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-230317
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043112
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 触針の接触圧によるプローブカードの変形に伴って生じる触針のZ方向の変位量の補償を行え、触針と半導体デバイスの電極パッドとの接触圧を常に一定にして、安定した状態で電気的特性の測定が行える。【解決手段】 プローブカード2の触針2aと半導体デバイスの電極パッドとの接触圧によるプローブカードの変形によって生じたプローブカードとカード保持具3との間隙量tを、エアゲージにより測定して触針のZ方向の変位量dを求め、この変位量を補償して接触圧を一定にするように、ウェハ10のチャック機構1のZ方向の位置を修正する補正機構4をプローバが備えている。

請求項（抜粋）：

ウェハ上に形成された複数の半導体デバイスの電極パッドに対応して多数の触針が配列されたプローブカードと、該プローブカードを載置し、その周辺部を固定するカード保持具と、ウェハのチャック機構と、該チャック機構をX,Y,Z及びθ方向に駆動する駆動機構とを備えていて、該チャック機構を駆動して該触針と該電極パッドとを接触させて半導体デバイスの電気的特性を検査するプローバにおいて、前記プローブカードの触針の接触圧による変形に基づいて生じる前記プローブカードのZ方向の変位量を測定し、この変位量に従って前記触針と前記電極パッドとの接触圧を一定にするように前記チャック機構のZ方向の位置を修正する補正機構を備えていることを特徴とするプローバ。

IPC (5件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/06 E ,  G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (30件)：

2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG12 ,  2G003AG13 ,  2G003AG16 ,  2G003AH05 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB01 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G132AA01 ,  2G132AE03 ,  2G132AE04 ,  2G132AE30 ,  2G132AF01 ,  2G132AF07 ,  2G132AL03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA70 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-054985   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特開昭61-112912
  
• 特開昭61-112912
  
• 特開昭63-208237