特許

J-GLOBAL ID：200903082557167392

検査装置及び検査方法

発明者： 小村 道昭
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-237794
公開番号（公開出願番号）：特開2003-050265
出願日： 2001年08月06日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【課題】高速で確実に検査対象の品質判定を非接触で行う安価な検査装置を提供する【解決手段】基板上の検査対象に対して所定の角度でレーザ光を照射するレーザ光源と、係るレーザ光源の光度及び照射範囲を制御する制御装置と、前記レーザ光源を照射する位置を制御する位置制御装置と、前記検査対象で反射したレーザ光を検出する検出器と、係る検出器で検出されたレーザ光の反射光強度及び前記制御装置に設定されたレーザ光源の入射光強度から算出された光強度比に基づき基板上の検査対象の品質判定を行う判定機とからなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上の検査対象に対して所定の角度でレーザ光を照射するレーザ光源と、係るレーザ光源の光度及び照射範囲を制御する照射制御装置と、前記レーザ光源を照射する位置を制御する位置制御装置と、前記検査対象で反射したレーザ光を検出する検出器と、係る検出器で検出されたレーザ光の反射光強度及び前記照射制御装置に設定されたレーザ光源の入射光強度から算出された光強度比に基づき基板上の検査対象の品質判定を行う判定機とからなることを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G01R 31/302 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/02 ,  H05K 13/08

FI (4件)：

G01R 1/06 F ,  G01R 31/02 ,  H05K 13/08 U ,  G01R 31/28 L

Fターム (11件)：

2G011AA01 ,  2G011AC09 ,  2G011AE11 ,  2G014AA01 ,  2G014AA13 ,  2G014AB59 ,  2G014AC11 ,  2G132AA20 ,  2G132AD15 ,  2G132AF14 ,  2G132AL09

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-099208
  
• 半導体装置の測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-168773   出願人：松下電子工業株式会社
• 特開昭62-134996
  
• 特開平3-099208
  
• 特開昭62-134996