特許

J-GLOBAL ID：200903082575147781

顕微鏡装置

発明者： 内川 敏男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-361295
公開番号（公開出願番号）：特開2006-171186
出願日： 2004年12月14日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】 液浸系対物レンズを用いた半導体ウエハ等の標本の外観検査後に、標本上に残存する液体を速やかに乾燥して、標本への塵埃等の付着やウォーターマークの発生を著しく減少させることができる顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 ウエハWの外観検査を行う顕微鏡装置1において、、ウエハWを保持する保持ステージ31及び保持ステージ31を傾斜させる駆動部32を有する液体乾燥装置30と、検査ステージ21と保持ステージ31との間でウエハWの搬送を行うウエハ搬送装置40とを備え、外観検査終了後、吸引ノズル22dにより液体Eが吸引されたウエハWを、搬送アーム42により検査ステージ21から保持ステージ31へ搬送した後に、この保持ステージ31を駆動部32により傾斜させ(図2中の矢印(1)参照)且つ回転部33により回転させて(図2中の矢印(2)参照)、該ウエハWの表面に残留した液体Eを振り切って、ウエハWを乾燥させる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

半導体ウエハ等の標本の外観検査を行う顕微鏡装置において、 前記標本を保持する検査ステージ、液浸系の対物レンズ、前記対物レンズの先端と前記標本との間に液体を供給する供給手段、及び、前記液体を前記標本から吸引する吸引手段を有する顕微鏡観察装置と、 前記標本を保持する保持ステージ、及び、前記保持ステージを傾斜させる駆動手段を有する液体乾燥機構と、 前記検査ステージと前記保持ステージとの間で前記標本の搬送を行う搬送手段とを備え、 外観検査終了後、前記吸引手段により前記液体が吸引された前記標本を、前記搬送手段により前記検査ステージから前記保持ステージへ搬送した後に、この保持ステージを前記駆動手段により傾斜させて、前記標本の表面に残留した前記液体を流して、前記標本を乾燥させることを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G01N 21/956

FI (2件)：

G02B21/00 ,  G01N21/956 A

Fターム (17件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA03 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051FA10 ,  2H052AB02 ,  2H052AD22 ,  2H052AD31 ,  2H052AF01 ,  2H052AF02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェハ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-338318   出願人：オリンパス株式会社