特許

J-GLOBAL ID：200903082578040619

フレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法

発明者： 田村 繁治 ,  安本 正人 ,  上條 長生 ,  鈴木 芳生 ,  淡路 晃弘
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  科学技術振興事業団 ,  財団法人高輝度光科学研究センター
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-394583
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196122
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】高分解能のフレネルゾーンプレートを開発するために、界面乱れが少ないフレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】2以上の蒸着源を用いて蒸着を行うことによって細線状基板上に多層薄膜を形成するフレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法であって、槽内において、蒸着源と細線状基板との間に斜入射蒸着成分および回り込み蒸着成分の飛来を軽減することを目的としたスリットを設け、スリットを通過した蒸着成分を細線状基板または既に蒸着させた薄膜上に蒸着させることを特徴とするフレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

2以上の蒸着源を用いて蒸着を行うことによって細線状基板上に多層薄膜を形成するフレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法であって、槽内において、蒸着源と細線状基板との間に斜入射蒸着成分および回り込み蒸着成分の飛来を軽減することを目的としたスリットを設け、スリットを通過した蒸着成分を細線状基板または既に蒸着させた薄膜上に蒸着させることを特徴とするフレネルゾーンプレート用多層膜の製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/18 ,  C23C 14/24 ,  G02B 3/08 ,  G02B 13/18

FI (4件)：

G02B 5/18 ,  C23C 14/24 C ,  G02B 3/08 ,  G02B 13/18

Fターム (22件)：

2H049AA03 ,  2H049AA04 ,  2H049AA31 ,  2H049AA46 ,  2H049AA50 ,  2H049AA63 ,  2H087KA12 ,  2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA05 ,  2H087RA03 ,  2H087RA47 ,  4K029AA02 ,  4K029AA21 ,  4K029BA03 ,  4K029BA08 ,  4K029BB02 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB14 ,  4K029EA01 ,  4K029JA02

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開昭57-104904
  
• 超伝導薄膜およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-344520   出願人：松下電器産業株式会社
• ゾーンプレート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-328738   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭62-142759
  
• 特開昭61-009574
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-104904
  
• 超伝導薄膜およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-344520   出願人：松下電器産業株式会社