特許
J-GLOBAL ID：200903082595824860
穴内検査装置および穴内検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
, 木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-284652
公開番号（公開出願番号）：特開2008-102011
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】検査時間の短縮化を図れ、かつ検査精度の向上を図れる穴内検査装置を提供すること。【解決手段】穴20の内部における異物9の有無を検査する穴内検査装置1であって、穴20と同一形状かつ同一寸法の開口41を有する絞り装置4と、開口を通してレーザー光を穴に照射するレーザー光源3と、穴からのレーザー光を受光するCCDカメラ6と、このCCDカメラ6が受光したレーザー光に基づいて異物の有無を判定する判定装置7とを備える。従って、従来のように対物レンズによってCCDカメラを合焦させる必要がなくなり、検査時間の短縮化を図れる。穴を反射するレーザー光が対物レンズを通さずにCCDカメラの受光素子に照射され、受光されるレーザー光が光軸に対して平行であるので、穴の内部に検査できない死角が生じず、検査精度を向上できる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
穴の内部における異物の有無を検査する穴内検査装置であって、
前記穴と同一形状かつ同一寸法の開口を有する絞り手段と、
前記開口を通してレーザー光を前記穴に照射するレーザー光源と、
前記穴に照射された前記レーザー光を受光する受光素子と、
この受光素子が受光したレーザー光に基づいて前記異物の有無を判定する判定手段と
を備えることを特徴とする穴内検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
2G051AA07
, 2G051AB01
, 2G051AB06
, 2G051BA10
, 2G051BB03
, 2G051BB07
, 2G051BB11
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051EB02
