特許
J-GLOBAL ID：200903082607327825

現像ノズル

発明者：
岩井 宏文

岩井 宏文 について


出願人/特許権者：
東芝イーエムアイ株式会社

東芝イーエムアイ株式会社 について


代理人 (1件)： 瀧野 秀雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-227877
公開番号（公開出願番号）：特開2000-051762
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：
【要約】【課題】 被塗布体との距離を自由に設定できる現像ノズルを提供する。【解決手段】 現像液源7から現像液を導入する内管2と内管2を覆う外管3との二重構造を有し、外管3は、外管3内に流体を導入する内管2の下方に形成されている液溜まり部3cと、下端に形成されているスリット状の吐出口3dとを備え、吐出口3dの端部に吐出液の流量を増加させる2次開口部3eを形成した。
請求項（抜粋）：
流体源から流体を導入する内管と該内管を覆う外管との二重構造を有し、前記外管は、該外管内に流体を導入する前記内管の下方に形成されている液溜まり部と、下端に形成されているスリット状の吐出口とを備えている現像ノズルにおいて、前記吐出口の端部に吐出液の流量を増加させる2次開口部を形成したことを特徴とする現像ノズル。
IPC (3件)：
B05C 5/00 103 ,  G03F 7/30 501 ,  G11B 7/26 501
FI (3件)：
B05C 5/00 103 ,  G03F 7/30 501 ,  G11B 7/26 501
Fターム (9件)：
2H096AA27 ,  2H096AA30 ,  2H096EA04 ,  2H096GA26 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041CA04 ,  5D121BB29 ,  5D121BB38
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開昭56-028671
  • カーテンコーターヘッド
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-195302   出願人：三菱アルミニウム株式会社
  • 特開昭56-028671
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