ステージ装置およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-359805
公開番号（公開出願番号）：特開平11-189332
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】レチクルステージ等の加減速時の反力を本体に伝えないようにし、さらに振動を露光装置の外部にも伝えないようにする。【解決手段】レチクルステージと別置きに設けられたカウンタマスとステージとを連結手段を介して結合し、カウンタマスを駆動することで、ステージの移動に伴って発生する反力を軽減させる。

請求項（抜粋）：

移動可能なステージと、該ステージを載置するステージ支持体とを有するステージ機構と、移動可能なカウンタマスと、該カウンタマスを載置するカウンタマス支持体とを有するカウンタマス機構とを有し、該ステージの移動に伴って発生する駆動反力を該カウンタマス機構に伝達するための連結手段を有することを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

B65G 49/07 , G03F 7/20 521 , G12B 5/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (6件)：

B65G 49/07 D , G03F 7/20 521 , G12B 5/00 T , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 B , H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-021894
複合位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-070070 出願人：キヤノン株式会社

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