特許

J-GLOBAL ID：200903082644269282

プローブカードピン

発明者： 木森 義夫 ,  陰山 喜信 ,  長尾 一郎
出願人/特許権者： 金井 宏彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-337024
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116765
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 極細寸法にした場合でも十分なプローブカードピン特性を有し、特に十分な耐摩耗性,ばね性があり、長時間使用しても接触抵抗値の増加が小さいプローブカードピンを提供する。【解決手段】 母材がニッケルタングステン合金よりなるプローブカードピンである。タングステン比率を5〜30重量%に制御し、また、金属組織の少なくとも一部をナノ結晶構造にすることで、耐摩耗性をさらに高めることができる。さらに、本発明のプローブカードピンにおいて、胴部1の横断面形状を正方形または長方形にすることにより、特に曲げ強度(ばね性)の向上が顕著である。また、プローブカードピンの先端側はテーパ部2を介して楔形状の先端部3を形成した。

請求項（抜粋）：

母材がニッケルタングステン合金よりなるプローブカードピン。

IPC (2件)：

G01R 1/067 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/067 G ,  H01L 21/66 B

Fターム (11件)：

2G011AA09 ,  2G011AB01 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AD01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プローブカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273339   出願人：日本電気株式会社
• 特開平1-108738