特許
J-GLOBAL ID：200903082660150244

感光性ドライフィルムレジスト

発明者：
高河原 薫

高河原 薫 について

, 
岡田 好史

岡田 好史 について

, 
山中 俊夫

山中 俊夫 について


出願人/特許権者：
鐘淵化学工業株式会社

鐘淵化学工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-347891
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149803
出願日： 2001年11月13日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】従来の感光性フィルムは粘着性があるために、保護フィルムを剥離してから回路が形成されたCCLへ貼り合わせる際に、位置修正が困難であるという問題がある。【解決手段】室温では粘着性のない感光性フィルムを用いることにより,回路を形成した基板の上に置いても位置修正が容易となり、使用時の作業性が向上する。また、感光性フィルムの材料として(A)可溶性ポリイミド、(B)リン原子、ハロゲン原子、シロキサン部位のいずれか1つ以上の原子または部位が共有結合している化合物、(C)(メタ)アクリル系化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物を用いることにより、比較的低温での加工が可能となり、アルカリ水溶液での現像が可能、かつ硬化後のフィルムが難燃性規格UL94V-0を満たすことを特徴とする感光性ドライフィルムレジストを提供することができる。
請求項（抜粋）：
Bステージ状態の感光性ドライフィルムレジストであって、銅箔光沢面に基板温度20°Cかつロール温度20°C、圧力1500Pa・mでラミネートしても、フィルムが銅箔に粘着することなく剥離可能であることを特徴とする感光性ドライフィルムレジスト。
IPC (10件)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/004 501 ,  C08F 2/44 ,  C08F283/04 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/38 501 ,  H05K 3/28
FI (11件)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/004 501 ,  C08F 2/44 C ,  C08F283/04 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/38 501 ,  H05K 3/28 D ,  H05K 3/28 F
Fターム (65件)：
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC19 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  2H025EA08 ,  2H025FA01 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096CA20 ,  2H096DA00 ,  2H096JA02 ,  2H096LA16 ,  4J011PA24 ,  4J011PA43 ,  4J011PA46 ,  4J011PA65 ,  4J011PA97 ,  4J011PA99 ,  4J011PB29 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J026AA21 ,  4J026AB34 ,  4J026AB35 ,  4J026AB44 ,  4J026BA07 ,  4J026BA15 ,  4J026BA21 ,  4J026BA22 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA39 ,  4J026BA40 ,  4J026BA41 ,  4J026BA43 ,  4J026BA50 ,  4J026DB06 ,  4J026DB11 ,  4J026DB15 ,  4J026DB29 ,  4J026DB30 ,  4J026DB36 ,  4J026GA06 ,  5E314AA24 ,  5E314AA27 ,  5E314AA36 ,  5E314BB01 ,  5E314CC01 ,  5E314CC15 ,  5E314FF01 ,  5E314FF06 ,  5E314GG24
引用特許：
審査官引用 (9件)
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