特許

J-GLOBAL ID：200903082681527364

フォトアシッド前駆体配合物で用いるに適した安定剤

発明者： ロートン,ジヨン・アラン ,  ネベ,ウイリアム・ジヨン ,  ソメス,グレン・アンソニー
出願人/特許権者： イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
代理人 (1件)： 小田島 平吉 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-501072
公開番号（公開出願番号）：特表平11-506842
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】本発明はフォトアシッド前駆体とカチオン重合性材料が入っている配合物のための安定剤を開示する。この安定剤は該配合中で制限された溶解度を示して該配合中で溶解度平衡状態にある。この安定剤を該配合物中に固相としてそれの溶解度限界を越える量で存在させていることから、この安定剤の濃度は、この安定剤が望まれない遊離酸と反応するにつれて連続的に補われる。

請求項（抜粋）：

安定化を受けさせたフォトアシッド前駆体配合物であって、フォトアシッド前駆体と安定剤を含み、ここで、該安定剤がIA族金属、IIA族金属、アンモニアまたは置換アンモニアと弱酸の塩でありそして上記配合物中で制限された溶解度を示しかつ上記配合物の密度とは異なる密度を有していて該配合物中にそれの溶解度を越える量で存在している配合物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 503 ,  C08K 3/26 ,  C08L 63/00 ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/038 503

FI (5件)：

G03F 7/004 503 Z ,  C08K 3/26 ,  C08L 63/00 C ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/038 503

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ビス-t-ブトキシカルボニルメチルチモールフタレイン、その合成方法並びにそれを含有するレジスト材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-287449   出願人：信越化学工業株式会社, 日本電信電話株式会社
• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-127254   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開昭61-103150