洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村井卓雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336482
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201795
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】洗浄手段からのコンタミネーションを招かず、また、基板と氷の粒子は流体を媒介しているために基板の損傷も招かない洗浄方法を提供する。【構成】基板3を、水の凝固点より低い凝固点を有しかつ氷の微粒子26を混合させた液状有機化合物などの液体中に浸漬し、水の凝固点以下の温度で氷の微粒子26を基板3に衝突させることにより基板3を洗浄する。ことを特徴とする洗浄方法。

請求項（抜粋）：

基板を、水の凝固点より低い凝固点を有しかつ氷の微粒子を混合させた液体中に浸漬し、水の凝固点以下の温度で前記氷の微粒子を前記基板に衝突させることにより前記基板を洗浄することを特徴とする洗浄方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 3/10 , B08B 7/02

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-079326
特開平3-206617
特開昭57-007126

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