特許

J-GLOBAL ID：200903082737936408

超伝導放射線検出器

発明者： 仲川 博 ,  大久保 雅隆 ,  座間 達也 ,  倉橋 正保
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269494
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075544
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】 超伝導検出器は、素子寸法が小さいために、検出効率が小さいという欠点があった。【解決手段】 上記の課題を解決するために,本願発明では、超伝導検出素子を搭載したチップをX線の発生源に近接させるとともに、このチップに微小な輻射線導入路をマイクロマシニングなどの技術で具備させることにより、高エネルギー分解能と高検出効率を両立させた、高性能なX線の分析システムを構築するものである。

請求項（抜粋）：

放射線検出方法において、励起用放射線の進入を許容する励起用放射線導入路及び超伝導放射線検出素子を具備する超伝導放射線検出チップを被測定対象物に近接させ、該導入路を通して該被測定対象物に該励起用放射線を照射し、これにより励起された放射線を該放射線検出素子により検出することを特徴とする放射線検出方法。

IPC (6件)：

G01T 1/24 ZAA ,  G01N 23/223 ,  G01N 23/225 ,  G01T 7/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 39/22

FI (6件)：

G01T 1/24 ZAA ,  G01N 23/223 ,  G01N 23/225 ,  G01T 7/00 A ,  H01L 39/22 D ,  H01L 27/14 K

Fターム (49件)：

2G001AA01 ,  2G001AA02 ,  2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA07 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001BA06 ,  2G001CA01 ,  2G001CA02 ,  2G001CA05 ,  2G001CA07 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01 ,  2G088EE29 ,  2G088EE30 ,  2G088FF03 ,  2G088FF15 ,  2G088GG22 ,  2G088GG25 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ08 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ37 ,  4M113AA04 ,  4M113AA14 ,  4M113AA25 ,  4M113AC24 ,  4M113AC25 ,  4M113AC29 ,  4M113AC30 ,  4M113AD36 ,  4M113CA11 ,  4M113CA13 ,  4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB04 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CB20 ,  4M118GA03 ,  4M118GA09 ,  4M118GA10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• X線分析方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-091034   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭64-015687