特許

J-GLOBAL ID：200903082770686735

表示装置およびその製造方法

発明者： 佐川 雅一 ,  岡井 誠 ,  楠 敏明 ,  鈴木 睦三 ,  石坂 彰利
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191701
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022295
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 MIM型トンネルダイオード構造の電子源の性能を低下させることなく、MIM型トンネルダイオード構造の電子源のアレイ化に必須となる上部電極のパターニングを行うことができる表示装置を提供する。【解決手段】 一対の基板と、枠部材とを有し、一対の基板と枠部材とで囲まれた空間が真空雰囲気とされる表示装置であって、一対の基板の一方の基板は、行方向に設けられる複数の走査電極と、列方向に設けられ走査電極との交差部に開口部を有する複数の信号電極と、各信号電極毎に設けられ開口部を覆う複数の上部電極と、開口部の各上部電極と各走査電極との間に設けられ上部電極および走査電極とともにトンネルダイオード構造の電子源を構成する第1の絶縁膜とを有し、上部電極は、各信号電極に沿って設けられる段差部により各信号電極毎に電気的に分離されている。

請求項（抜粋）：

一対の基板と、枠部材とを有し、一対の基板と枠部材とで囲まれた空間が真空雰囲気とされる表示装置であって、前記一対の基板の一方の基板は、行(または列)方向に設けられる複数の走査電極と、列(または行)方向に設けられ、前記走査電極との交差部に開口部を有する複数の信号電極と、前記各信号電極毎に設けられ、前記開口部を覆う複数の上部電極と、前記開口部の前記各上部電極と前記各走査電極との間に設けられ、前記上部電極および前記走査電極とともにトンネルダイオード構造の電子源を構成する第1の絶縁膜とを有し、前記上部電極は、前記各信号電極に沿って設けられる段差部により、各信号電極毎に電気的に分離されていることを特徴とする表示装置。

IPC (2件)：

G09F 9/30 343 ,  H01L 49/02

FI (2件)：

G09F 9/30 343 F ,  H01L 49/02

Fターム (11件)：

5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA04 ,  5C094BA21 ,  5C094BA32 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EA03 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094GB01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 薄膜型電子源およびそれを用いた表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-286504   出願人：株式会社日立製作所
• 薄膜型電子源及び薄膜型電子源マトリクス並びにそれらの製造方法並びに薄膜型電子源マトリクス表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-250279   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平3-122953