硬質炭素被膜の形成方法と耐摩耗性部品

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上代哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-243043
公開番号（公開出願番号）：特開平9-087847
出願日： 1995年09月21日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】耐摩耗性部品、摺動部品等に用いる良好な密着力を持った硬質炭素被膜を提供する。【解決手段】本発明は、上記の課題を解決するために、硬質炭素被膜と基材上の表面処理層との接合界面において、酸素濃度のピーク値が10at%以下であることを特徴とする高密着性硬質炭素被膜を製造する。中間層の付された基材を加熱しながら排気装置6により真空装置1内を真空とし、次に中間層表面をクリーニングした後、マスフローコントローラー7を介して炭化水素ガスを導入し、所定の硬質炭素被膜を中間層8の上に付着させる。

請求項（抜粋）：

基材の表面に中間層を介して硬質炭素被膜を成膜し、前記中間層と前記硬質炭素被膜との界面の酸素含有量を10at%以下とすることを特徴とする硬質炭素被膜の形成方法。

IPC (5件)：

C23C 16/26 , C23C 16/02 , C23C 16/50 , C23C 28/04 , B23B 27/14

FI (5件)：

C23C 16/26 , C23C 16/02 , C23C 16/50 , C23C 28/04 , B23B 27/14 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

テ-プ走行用ロ-ラ-とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-331344 出願人：住友電気工業株式会社
特開平1-132779
特開平1-234566

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