特許

J-GLOBAL ID：200903082804695330

固体撮像素子のカラーフィルタ形成方法及び固体撮像素子、並びに固体撮像素子用パターンマスクセット

発明者： 川村 利輝
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-212697
公開番号（公開出願番号）：特開2009-049117
出願日： 2007年08月17日
公開日（公表日）： 2009年03月05日
要約：

【課題】隣接するフィルタ層同士の融着を防止して、カラーフィルタの厚さや各フィルタ層のサイズのばらつき、感度低下、混色、感度比の劣化などの固体撮像素子のデバイス特性低下を防止する。【解決手段】ランド状のフィルタ層が色毎に異なるパターンで混在配置されてなるカラーフィルタを、色毎に異なる単位カラーフィルタパターンのマスクGM、BM、RM、WMを用いて基板P上にパターニング形成する場合に、第1色目のランド状のフィルタ層Gを、それに相当する単位カラーフィルタパターンGPのマスクGMを用いてパターニング形成した後、第2色目以降のランド状のフィルタ層B、Rを第1色目のフィルタ層G同士の間に形成する際、第2色目以降の色に対するマスクBM、RMの各マスク開口5形状を、当該色に対する単位カラーフィルタパターンBP、RPの各フィルタ層B、Rのランド形状とは異なる形状にする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ランド状のフィルタ層が色毎に異なるパターンで混在配置されてなるカラーフィルタを、色毎に異なる単位カラーフィルタパターンのマスクを用い、各色の前記ランド状のフィルタ層を色順次で基板上にパターニング形成する固体撮像素子のカラーフィルタ形成方法であって、 第1色目の前記ランド状のフィルタ層を、該第1色目の色に相当する単位カラーフィルタパターンのマスクを用いて前記基板上にパターニング形成した後、 第2色目以降でかつ最終色前段までの色に対する前記ランド状のフィルタ層を前記第1色目のフィルタ層同士の間にパターニング形成する際に、前記第2色目以降でかつ最終色前段までの色に対する前記マスクの各開口形状を、当該色に対する単位カラーフィルタパターンの各フィルタ層のランド形状とは異なる形状にして形成する固体撮像素子のカラーフィルタ形成方法。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/148 ,  G02B 5/20 ,  H04N 9/07

FI (4件)：

H01L27/14 D ,  H01L27/14 B ,  G02B5/20 101 ,  H04N9/07 D

Fターム (34件)：

2H048BA43 ,  2H048BB02 ,  2H048BB46 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA18 ,  4M118CA32 ,  4M118DA27 ,  4M118DA28 ,  4M118FA06 ,  4M118FA16 ,  4M118FA19 ,  4M118FA35 ,  4M118GA02 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C065BB30 ,  5C065BB42 ,  5C065BB43 ,  5C065CC01 ,  5C065DD02 ,  5C065DD15 ,  5C065EE05 ,  5C065EE06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• カラーフィルターの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086928   出願人：キヤノン株式会社