特許
J-GLOBAL ID：200903082838923579
基板ウェハー判定装置及び判定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 直人 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-144012
公開番号（公開出願番号）：特開平11-339042
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 高度な判定機能を有する基板ウェハー判定装置を提供し、基板ウェハー表面の判定作業の正確性を図り半導体製造作業を改善する。【解決手段】 本発明による基板ウェハー判定装置は、搬送器と該搬送器で基板ウェハーを搬送して載置するステージを設け、該ステージに向けて基板ウェハーの表面状態を認識する認識手段を配設し、該認識手段で取得した認識データを所定の判定基準に照会し、基板ウェハーの表面状態を判定する判定手段と、該判定手段による判定結果により基板ウェハーを該ステージから分別して搬送するよう搬送器に指令を出す制御手段を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板ウェハーの表面状態を認識する認識手段、該認識手段で取得した認識データを所定の判定基準に照会し、基板ウェハーの表面状態を判定する判定手段、該判定手段による判定結果により基板ウェハーを分別して搬送するよう搬送器に指令を出す制御手段とからなる基板ウェハー判定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/62 405 A
, G01N 21/88 F
