インクジェットヘッド用振動板及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069691
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264378
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】高速印写に対応できまい。【解決手段】振動板31は電気機械変換素子の変位で変形するダイアフラム部34と電気機械変換素子に対応する独立した島状凸部40及びダンパー部43とを一体的に形成し、ダイアフラム部34は高硬度金属で形成し、ダンパー部43は低硬度金属43bで形成した。

請求項（抜粋）：

電気機械変換素子の変位で変形するダイアフラム部と前記電気機械変換素子に対応する独立した島状凸部とを一体的に形成したインクジェットヘッド用振動板において、前記ダイアフラム部はビッカース硬度でHv300〜1200の範囲内のメッキ金属で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド用振動板。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (2件)

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