石英チューブの洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-197787
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045890
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】本発明は、石英チューブの外面が薬液により侵食されず、而も簡単且つ低コストで洗浄が行なわれ得るようにした、石英チューブの洗浄方法を提供することを目的とする。【構成】石英チューブ11の両端を密閉して、該石英チューブ内を通過する循環管路18,20を形成し、該循環管路に薬液を流して、薬液洗浄を行ない、該循環管路に純水を流して、純水洗浄を行ない、該循環管路に乾燥ガスを流して、乾燥を行なうように、石英チューブ11の洗浄方法を構成する。

請求項（抜粋）：

石英チューブの両端を密閉して、該石英チューブ内を通過する循環管路を形成し、該循環管路に薬液を流して、薬液洗浄を行ない、該循環管路に純水を流して、純水洗浄を行ない、該循環管路に乾燥ガスを流して、乾燥を行なうようにしたことを特徴とする、石英チューブの洗浄方法。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 351 , B08B 3/08 , B08B 9/06 , C23C 16/44 , H01L 21/22 501

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-180876
特開平4-145991
半導体基板洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-253869 出願人：広島日本電気株式会社

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