露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-136779
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255746
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】十分に長い作動距離を確保しつつ優れた結像性能を有する小型な複数の投影光学系によって、露光領域が大きな場合においても、スループットを低下させることなく、良好なる光学性能のもとで投影露光を行なうことのできる高性能で小型な露光装置を提供すること。【構成】マスク(10)とプレート(30)とを移動させつつ、マスクの像をプレート上へ投影露光する露光装置は、マスクの等倍の正立正像をプレート上に形成し、かつ両側テレセントリックである第1投影光学系(35a) 及び第2投影光学系(35e)とを有する。第1及び第2投影光学系は、正屈折力の屈折光学系(S1,S2) と、屈折光学系からの光を再び屈折光学系へ向けて反射させる凹面反射鏡(M1 M2) とをそれぞれ有する。

請求項（抜粋）：

第1の物体と第2の物体とを移動させつつ、前記第1の物体の像を前記第2の物体上へ投影露光する露光装置において、前記第1の物体の等倍の正立正像を前記第2の物体上に形成する両側テレセントリックな第1及び第2投影光学系を有し、前記第1及び第2投影光学系は、前記第1物体からの光を集光して一次像を形成する第1結像光学系と、前記一次像からの光を集光して二次像を形成する第2結像光学系とをそれぞれ有し、前記各第1結像光学系は、正の屈折力を持つ第1の正レンズ群と、負の屈折力を持つ第1の負レンズ群と、第1の凹面反射鏡とを有し、前記第1物体からの光が前記第1の正レンズ群及び第1の負レンズ群を介して前記第1の凹面反射鏡にて反射された後、再び前記第1の負レンズ群及び第1の正レンズ群を介することにより前記一次像を形成する如く構成され、前記各第2結像光学系は、正の屈折力を持つ第2の正レンズ群と、負の屈折力を持つ第2の負レンズ群と、第2の凹面反射鏡とを有し、前記第1物体からの光が前記第2の正レンズ群及び第2の負レンズ群を介して前記第2の凹面反射鏡にて反射された後、再び前記第2の負レンズ群及び第2の正レンズ群を介することにより前記二次像を形成する如く構成されたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 27/18 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D , G02B 27/18 Z , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 514 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-147611
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-161588 出願人：株式会社ニコン

前のページに戻る