ロータリーエンコーダパターンの測定装置及び測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和泉雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-079883
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247739
出願日： 1995年03月12日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】[目的] 本発明は、ロータリーエンコーダパターンの精度を測定するための測定装置及び測定方法に係わり、特に、セレーション式角度割出盤を使用し、自己校正法を適用して、簡易で精度の高い、ロータリーエンコーダのパターンの精度測定を可能とする測定装置等を提供することを目的とする。[構成] 本発明は、パターン検出部が、角度割出盤に載置されたロータリーエンコーダパターンを観察し、微小角検出手段が、角度割出盤で得られた角度と、パターン検出部で観察された得られた角度の微小角度差を検出し、この微小角検出手段から得られた微小角度差から、ロータリーエンコーダパターンの精度を測定することができる。更に、自己校正法を適用してロータリーエンコーダパターンの精度を測定することもできる。

請求項（抜粋）：

角度割出盤と、この角度割出盤に載置されたロータリーエンコーダパターンを観察するためのパターン検出部と、前記角度割出盤で得られた角度と、前記パターン検出部で観察されて得られた角度の微小角度差を検出するための微小角検出手段とから構成されており、この微小角検出手段から得られた微小角度差から、ロータリーエンコーダパターンの精度を測定可能となっていることを特徴とするロータリーエンコーダパターンの測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01B 5/24 , G01B 9/04

FI (3件)：

G01B 11/24 F , G01B 5/24 , G01B 9/04

引用特許：

審査官引用 (8件)

割り出し角度検査装置及び同装置による角度検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-144988 出願人：株式会社ニコン
特表平6-502727
特開平4-328414

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