短絡防止用キャップ、電極支持棒及びプラズマ反応装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-007518
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208297
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】RFケーブルの導電体と芯線との短絡を防止して、基板に膜質の良好な導電膜を形成することを課題とする。【解決手段】プラズマ反応装置内で使用され、芯線22及び該芯線22の外周部に絶縁体を介して形成された導電体23を有する高周波用ケーブル21と電極とを接続する際に使用される短絡防止用キャップ25であり、前記高周波用ケーブル21の先端に冠着されたキャップ本体25aの軸方向に芯線用の貫通孔26を設けるとともに、キャップ本体25aの外周面に環状のスリット27を設けたことを特徴とする短絡防止用キャップ25。

請求項（抜粋）：

プラズマ反応装置内で使用され、芯線及び該芯線の外周部に絶縁体を介して形成された導電体を有する高周波用ケーブルと電極とを接続する際に使用される短絡防止用キャップであり、前記高周波用ケーブルの先端に冠着されたキャップ本体の軸方向に芯線用の貫通孔を設けるとともに、キャップ本体の外周面に環状の溝を設けたことを特徴とする短絡防止用キャップ。

IPC (3件)：

H05H 1/46 , H05H 1/24 , C23C 16/50

FI (3件)：

H05H 1/46 A , H05H 1/24 , C23C 16/50 Z

Fターム (4件)：

4K030FA03 , 4K030KA15 , 4K030KA30 , 4K030KA45

引用特許：

審査官引用 (5件)

真空装置への高周波電力供給方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-005687 出願人：三菱重工業株式会社
特開昭60-211823
特開昭60-211823

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