材料試験機用レ-ザ式変位量測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：辻実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-102420
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297013
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】試料を圧縮したり引き伸ばしたりして試料の試験を行う材料試験機において、試料にマ-キングを施すことなく、被試験体の所定位置間の変位量を自動的に検出することができるような材料試験機用レ-ザ式変位量測定装置を提供すること。【構成】試料の複数点にレ-ザ発射されるコヒ-レント光束を照射する。各々が別のモ-タとリ-ドスクリュ-により移動するブロックに付した複数のレ-ザ発振器と、そこに発生するスペックルパタ-ンを受光する複数のイメ-ジセンサと試料に力を加えることによるスペックルパタ-ンの移動を移動量として解析する回路と、この移動量をアナログ又はデジタル量として出力する回路と、その出力値を受けて前記の駆動モ-タを駆動する駆動回路と前記のブロックの移動量を検出するセンサからなり、試料の複数点のそれぞれ個々の移動量を測定し、また各ブロック間の移動距離を測定する材料試験機用レ-ザ式変位量測定装置である。

請求項（抜粋）：

歪を加える前の試料に位置付けた標点と歪を加えたときの前記標点間の移動量を検出する材料試験機の変位量測定装置において、前記試料面にコヒ-レント光束を照射するレ-ザ発振器と、レ-ザ発振器からのコヒ-レント光束により試料表面に生じたスペックルパタ-ンを受信するイメ-ジセンサと、レ-ザ発振器とイメ-ジセンサとを所定の位置関係を維持して担持する測定ヘッドと、試料に歪を加える前に生じたスペックルパタ-ンを記憶する記憶手段と、試料に歪を加えたときにイメ-ジセンサで受信されるスペックルパタ-ンの移動位置を検知する検知手段と、測定ヘッドを移動させる測定ヘッド駆動手段と、試料に歪を加えたときにイメ-ジセンサで受信されるスペックルパタ-ンが前記記憶手段に記憶されたスペックルパタ-ンの位置に一致するように前記測定ヘッド駆動手段を位置制御する制御手段と、測定ヘッドの現在位置を検知する位置検知手段と、を具備することを特徴とする材料試験機用レ-ザ式変位量測定装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

歪測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-143666 出願人：株式会社島津製作所
特開平4-346004
特開平3-226613

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