特許

J-GLOBAL ID：200903082923764226

基板洗浄装置

発明者： 木村 茂
出願人/特許権者： 鹿児島日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198844
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044877
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】枚葉式の基板洗浄装置において、ゴミの剥離等の洗浄力の向上および純水使用量の低減を図る。【解決手段】洗浄液および純水をガラス基板18の進入方向に向かって斜めに噴射させ、基板の進行方向と直角方向に設置されくの字形状のシャワーパイプ7a〜7dの複数本を設け、洗浄液あるいは純水が噴射される噴射液が互に干渉しないように噴出ノズル18を配置し、噴射される液の流速の低下を抑え、かつそれらのガラス基板18上のよどみの発生を抑え排出を促し、ゴミの剥離能力の向上および洗浄液の更新を盛んにしている。

請求項（抜粋）：

一方向から搬送されるガラス基板の上下面を洗浄液を噴射し洗浄する洗浄ユニットと、前記ガラス基板の上下面に純水を噴射させ前記洗浄液を流し落す水洗ユニットと、水洗された前記ガラス基板を乾燥する乾燥ユニットとを備える枚葉処理式の洗浄装置において、前記洗浄ユニットおよび前記水洗ユニットに設けられ前記カラス基板の進入方向に向かい傾斜をもたせて前記洗浄液および前記純水を噴射する複数の噴出ノズルを有するとともに前記ガラス基板の進行方向に横切るように並べ配置されかつ中央部が前記進行方向に突出し両端が前記進行方向に対して斜めに後退するようにくの字形状の複数のシャワーパイプを備えることを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (5件)：

G02F 1/1333 500 ,  B08B 3/02 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351

FI (5件)：

G02F 1/1333 500 ,  B08B 3/02 B ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 351 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 透明基板の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-264505   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭63-229186
  
• 特開昭64-004484