特許
J-GLOBAL ID：200903039640859848
透明基板の洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-264505
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120739
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 ラビング後の透明基板を多量投入しても基板上には安定してゴミや異物の除去ができるとともに、洗浄後の基板上にできる洗浄液の液溜まりの不完全除去で発生する液の残査ムラ・シミや乾燥ムラ等を防止でき、表示品位の良好な液晶パネルを実現する。【構成】 透明基板にラビング処理を施した後、枚葉式基板搬送による洗浄において、洗浄〜水洗室において、透明基板の進行方向の斜め前方で透明基板に対して35°以上60°以下の方向から液体を噴射する透明基板の進行方向の斜め前方の透明基板に対して35°以上60°以下の方向から液体を噴射するノズル1〜4を設けることにより、噴射する液体が基板の流水洗浄を行い、洗浄後、次室へ搬送される基板にできた液溜まりを、エアーによる液切り方法に替えて液体を噴射させて液溜まりの拡散および持ち出し量の低減を行う。
請求項（抜粋）：
透明基板を洗浄室から水洗室まで枚葉式基板搬送する透明基板の洗浄方法であって、前記透明基板の進行方向の斜め前方で前記透明基板に対して35°以上60°以下の方向から液体を噴射して前記透明基板の洗浄から水洗までを行うことを特徴とする透明基板の洗浄方法。
引用特許：
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