特許
J-GLOBAL ID：200903082933609040
外観検査用画像処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052239
公開番号（公開出願番号）：特開2004-259228
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
【課題】複数のプロセッサを使ってセル比較検査,ダイ比較検査,セルダイ混合比較検査が連続的に検査できる外観検査用画像処理装置を提供する。【解決手段】外観検査用画像処理装置は、複数のプロセッサで並列処理するプロセッサ群と、連続データを所定の画像サイズに分割するために分割境界の前端オーバーラップと後端オーバーラップを含んで画像データを切出す手段と、切出した画像をプロセッサ群に分配する手段と、プロセッサ群で処理した結果を集計する手段を有し、前端オーバーラップはセル比較検査におけるセルピッチサイズ以上とする構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
それぞれに同一パターンが形成された複数のダイ、またはひとつのダイの中であってそれぞれに同一パターンが形成された複数のセルを有する被検査物から取得した連続画像データを用い、ダイ同士および/またはセル同士を比較して被検査物の外観検査を行う外観検査用画像処理装置において、
複数のプロセッサで並列処理するプロセッサ群と、連続した画像データを所定の画像サイズの画像データに分割するために画像データの分割境界の前端オーバーラップと後端オーバーラップとを含んで画像データを切出す手段と、切出した画像データをプロセッサ群に分配する手段と、プロセッサ群で処理した結果を集計する手段を有し、前記前端オーバーラップはセル比較検査におけるセルのピッチサイズ以上であることを特徴とした外観検査用画像処理装置。
IPC (3件)：
G06T1/20
, G06T1/00
, G06T3/00
G06T1/20 B
, G06T1/00 305A
, G06T3/00 400A
5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC02
, 5B057CE09
, 5B057CH04
, 5B057CH08
, 5B057CH14
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC02
, 5B057DC04
, 5B057DC32
