液晶表示装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056310
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270828
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】バラツキの無い安定な抵抗値を有するTa薄膜を形成して、2端子非線形素子の熱劣化を防ぐと共に、液晶表示装置の表示における残像を防ぐ。【構成】基板5上に下部電極1、陽極酸化膜2および上部電極3からなるMIM素子が形成されて、画素電極4と接続されている。下部電極1は、スパッタリングガスとしてKrガスを用い、ターゲットとしてTaN焼結体ターゲットを用いてスパッタリング法により形成されたTa薄膜からなる。TaN焼結体ターゲットを用いているのでTa薄膜中の窒素含有量を均一にすることができ、Krガスを用いているので、スパッタ装置の成膜条件の振れに影響されることが少ない。

請求項（抜粋）：

対向する一対の基板の間に液晶が封入され、一方の基板の上に、Ta薄膜からなる下部電極と、該下部電極の表層を陽極酸化して形成された陽極酸化膜と、該陽極酸化膜の上に形成された金属薄膜からなる上部電極とからなる2端子非線形素子が形成され、マトリクス状に配された各画素に該2端子非線形素子が接続された液晶表示装置において、該一方の基板上の全2端子非線形素子における該下部電極の面抵抗値または比抵抗値のバラツキが±5%であり、その標準偏差σが0.1以下である液晶表示装置。

IPC (2件)：

G02F 1/136 510 , G02F 1/1343

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平3-045931
特開平3-042885
特開平3-045930

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