感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-376033
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182381
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】密着性及び解像度に優れ、スカムの発生を抑え、プリント配線板の高密度化に有用な感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)下記一般式(1)で表される化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンの製造法によるプリント配線板の製造法。(R1は水素原子又はメチル基を示し、X1は炭素数2〜6のアルキレン基を示し、mは4〜20の整数であり、nは1〜15の整数である)

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B)一般式(I)【化1】(R1は水素原子又はメチル基を示し、X1は炭素数2〜6のアルキレン基を示し、mは4〜20の整数であり、nは1〜15の整数である)で表される化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F291/00 , C08F299/02 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (9件)：

G03F 7/027 502 , C08F 2/44 C , C08F 2/50 , C08F291/00 , C08F299/02 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

Fターム (51件)：

2H025AA14 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC34 , 2H025CA28 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 4J011PA65 , 4J011PA69 , 4J011PC02 , 4J011QB16 , 4J011SA21 , 4J011SA22 , 4J011SA25 , 4J011SA31 , 4J011SA41 , 4J011SA51 , 4J011SA78 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J026AA17 , 4J026AA43 , 4J026AA45 , 4J026BA27 , 4J026GA09 , 4J027AC02 , 4J027AC06 , 4J027CA02 , 4J027CA03 , 4J027CD10 , 5E339BE11 , 5E339CC01 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CE13 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E343AA02 , 5E343AA12 , 5E343BB24 , 5E343BB67 , 5E343BB71 , 5E343CC62 , 5E343CC65 , 5E343DD32 , 5E343ER11 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG01

引用特許：

審査官引用 (4件)

感光性樹脂組成物およびその用途
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-297327 出願人：日本合成化学工業株式会社
特開平4-195050
特開平4-195050

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