特許
J-GLOBAL ID:200903082983946196
配線パターン及びその形成方法、電気光学装置、並びに電子機器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-247914
公開番号(公開出願番号):特開2006-066675
出願日: 2004年08月27日
公開日(公表日): 2006年03月09日
要約:
【課題】 配線パターンを形成する際のプロセスタイムを短縮する。【解決手段】 撥液性を有する基板P上に配線パターンを形成する配線パターン形成方法であって、液滴吐出法によって親液性材料X2を上記基板上に吐出配置することによって親液領域H1を形成する工程と、上記親液領域上に導電性微粒子を含む機能液を配置し乾燥、焼成させることによって上記配線パターンを形成する工程とを有する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
撥液性を有する基板上に配線パターンを形成する配線パターン形成方法であって、
液滴吐出法によって親液性材料を前記基板上に吐出配置することによって親液領域を形成する工程と、
前記親液領域上に導電性微粒子を含む機能液を配置し乾燥、焼成させることによって前記配線パターンを形成する工程と
を有することを特徴とする配線パターン形成方法。
IPC (12件):
H01L 21/320
, G02F 1/134
, G09F 9/00
, G09F 9/30
, H01L 21/288
, H05B 33/10
, H01L 51/50
, H01L 29/423
, H01L 29/49
, H01L 29/417
, H01L 29/786
, H01L 21/336
FI (11件):
H01L21/88 B
, G02F1/1343
, G02F1/1345
, G09F9/00 338
, G09F9/30 338
, H01L21/288 Z
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, H01L29/58 G
, H01L29/50 M
, H01L29/78 616K
Fターム (114件):
2H092GA05
, 2H092GA24
, 2H092GA29
, 2H092GA32
, 2H092GA48
, 2H092GA51
, 2H092GA59
, 2H092HA04
, 2H092HA06
, 2H092HA12
, 2H092JA26
, 2H092JA46
, 2H092JB22
, 2H092JB31
, 2H092JB61
, 2H092KA05
, 2H092KA12
, 2H092KB01
, 2H092KB04
, 2H092KB11
, 2H092MA07
, 2H092MA10
, 2H092MA12
, 2H092MA13
, 2H092NA18
, 2H092NA27
, 2H092PA06
, 2H092QA06
, 2H092QA07
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 3K007FA01
, 3K007GA00
, 4M104AA09
, 4M104BB02
, 4M104BB04
, 4M104BB05
, 4M104BB07
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104BB28
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104CC05
, 4M104DD51
, 4M104DD79
, 4M104GG09
, 4M104GG20
, 4M104HH14
, 5C094AA31
, 5C094AA43
, 5C094AA44
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094FB12
, 5C094GB10
, 5F033GG04
, 5F033HH07
, 5F033HH08
, 5F033HH11
, 5F033HH13
, 5F033HH14
, 5F033HH28
, 5F033HH38
, 5F033JJ07
, 5F033JJ08
, 5F033JJ11
, 5F033JJ13
, 5F033JJ14
, 5F033JJ28
, 5F033KK05
, 5F033PP26
, 5F033QQ00
, 5F033QQ73
, 5F033VV15
, 5F033XX03
, 5F110AA16
, 5F110BB01
, 5F110CC07
, 5F110DD02
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE05
, 5F110EE42
, 5F110FF03
, 5F110FF30
, 5F110GG02
, 5F110GG15
, 5F110GG45
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK05
, 5F110HK09
, 5F110HK32
, 5F110NN02
, 5F110NN12
, 5F110NN24
, 5F110NN35
, 5F110NN72
, 5F110QQ01
, 5F110QQ09
, 5F110QQ19
, 5G435AA14
, 5G435AA17
, 5G435BB05
, 5G435BB12
, 5G435CC09
, 5G435KK05
, 5G435KK10
引用特許:
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