特許
J-GLOBAL ID：200903082984711745

固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置

発明者：
西山 円

西山 円 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-337070
公開番号（公開出願番号）：特開2009-158800
出願日： 2007年12月27日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】2分割された光電変換部を持つ画素によって焦点検出可能とし、しかも、焦点検出精度をより高める。【解決手段】固体撮像素子は、2次元状に配置された複数の画素を基板51上に備える。一部の画素20Hは、基板51の法線方向から見た平面視において分割線により分割される一方側の領域及び他方側の領域にそれぞれ存し各々が入射光を光電変換する第1の光電変換部42及び第2の光電変換部43を有する。基板51上に形成された層間膜56〜58に、間隙91が、前記平面視において前記分割線に沿って形成される。光電変換部42を構成する半導体領域と光電変換部43を構成する半導体領域との間に、間隙71が形成される。【選択図】図17
請求項（抜粋）：
2次元状に配置された複数の画素を基板上に備え、 前記複数の画素のうちの少なくとも一部の画素は、前記基板の法線方向から見た平面視において分割線により分割される一方側の領域及び他方側の領域にそれぞれ存し各々が入射光を光電変換する第1の光電変換部及び第2の光電変換部を有し、 前記基板上に形成された層間膜に、間隙が、前記平面視において前記分割線に沿って形成されたことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (4件)：
H01L 27/146 ,  H04N 5/30 ,  H04N 5/335 ,  H04N 5/232
FI (5件)：
H01L27/14 A ,  H04N5/30 ,  H04N5/335 U ,  H04N5/232 H ,  H04N5/335 E
Fターム (38件)：
4M118AB01 ,  4M118AB10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA04 ,  4M118CA18 ,  4M118CA22 ,  4M118CA32 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118GA09 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  4M118GC07 ,  4M118GC14 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CY17 ,  5C024DX01 ,  5C024EX12 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GX14 ,  5C024GX16 ,  5C024GY31 ,  5C122DA04 ,  5C122EA37 ,  5C122FB05 ,  5C122FC02 ,  5C122FD07 ,  5C122HA88 ,  5C122HB01 ,  5C122HB02
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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