特許

J-GLOBAL ID：200903082987454166

化学蒸着処理方法

発明者： 福田 憲二 ,  梅野 達夫 ,  綱分 忠則 ,  蛭田 孝士 ,  原 陽一郎 ,  松長 修 ,  岩永 勝介
出願人/特許権者： 三井鉱山株式会社 ,  三井鉱山マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 高畑 靖世
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-094045
公開番号（公開出願番号）：特開平11-269647
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】 蒸着原料から蒸着物への変換率を高くすることができ、更に粉粒体を構成する粒子の表面に形成する蒸着膜が均一な化学蒸着処理方法を提供する。【解決手段】 反応器内において粉粒体とガス状の有機物とを接触させると共に有機物を炭化して粉粒体を構成する個々の粒子表面を炭素薄膜で被覆する化学蒸着処理において、ガス状の有機物又はガス状の有機物と不活性ガスとからなる混合ガスを反応器の下部より反応器内に導入することにより粉粒体を流動化状態で化学蒸着処理する。

請求項（抜粋）：

反応器内において粉粒体とガス状の有機物とを接触させると共に有機物を炭化して粉粒体を構成する個々の粒子表面を炭素薄膜で被覆する化学蒸着処理方法において、ガス状の有機物又はガス状の有機物と不活性ガスとからなる混合ガスを反応器の下部より反応器内に導入することにより粉粒体を流動化状態で化学蒸着処理することを特徴とする化学蒸着処理方法。

IPC (3件)：

C23C 16/26 ,  B22F 1/02 ,  C23C 16/44

FI (3件)：

C23C 16/26 ,  B22F 1/02 D ,  C23C 16/44 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭49-001490
  
• ダイヤモンド膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-292580   出願人：株式会社島津製作所