特許

J-GLOBAL ID：200903083001104185

処理システム及び処理方法

発明者： 鈴木 秀和 ,  岩生 徹
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-094254
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297710
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 処理システムの状態変化の調査において有用性が高い記録を得ることができる処理システム及び処理方法を提供する。【解決手段】 被処理体Wを処理する処理システムにおいて,処理システムの各部の状態を検出する複数の検出手段29,30,52,65,87と,前記状態を表す情報を記録する記録手段85,86,88,89を備え,前記記録手段85,86,88,89は,前記状態に応じて記録する情報を変更可能とすることを特徴とする処理システムとした。

請求項（抜粋）：

被処理体を処理する処理システムであって,処理システムの各部の状態を検出する複数の検出手段と,前記状態を表す情報を記録する記録手段を備え,前記記録手段は,前記状態に応じて記録する情報を変更可能とすることを特徴とする処理システム。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  G05B 19/418

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  G05B 19/418 Z

Fターム (5件)：

3C100AA29 ,  3C100AA57 ,  3C100BB12 ,  3C100BB33 ,  3C100EE06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 装置稼動管理装置及びその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-051228   出願人：株式会社リコー