特許

J-GLOBAL ID：200903083004448144

薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板

発明者： 滝田 正俊 ,  大塚 久利
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-034510
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067198
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はトランジスタ-の特性が向上した、液晶ディスプレイが急速に立上がることが可能な薄膜トランジスタ-用、特にはp-Si薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板は、OH基含有量が50ppm 以下で、塩素が存在せず、しかも金属不純物、特にアルカリ金属またはアルカリ土類金属含有量が1ppm 以下であることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

OH基含有量が50ppm 以下で、塩素を含有せず、しかも金属不純物含有量が1ppm 以下であることを特徴とする薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板。

IPC (6件)：

G02F 1/136 500 ,  C03B 20/00 ,  C03C 3/06 ,  G02F 1/1333 500 ,  C03B 8/04 ,  H01L 29/784

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-123223
  
• 光学用石英ガラスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-207486   出願人：旭硝子株式会社
• ポリシリコンTFT方式LCD用石英ガラス基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-327150   出願人：旭硝子株式会社
• 光学用高耐熱性石英ガラスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-357809   出願人：旭硝子株式会社