特許
J-GLOBAL ID：200903083028292323
薬液の回収方法および回収装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-060761
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258457
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 薬液循環供給系における新液の補給量を減らし、薬液循環供給系の装置サイズを小型化すること。【解決手段】 原液を希釈液で希釈してなる処理用薬液と、該希釈液と同一のリンス液とを交互に使用する処理装置1から排出される排出液のうち、主として該処理用薬液を回収する方法および装置であって、該排出液の濃度を濃度測定手段31によりリアルタイムで測定し、その測定値により管路切換え手段32を作動させることにより、測定値が予め定めた管理範囲内にある時は排出液を回収管路5に導いてこれを回収し、該管理範囲内にない時は該排出液を廃棄管路4に導いてこれを廃棄する。
請求項（抜粋）：
処理用薬液とリンス液とを交互に使用する処理装置から排出される薬液を回収する方法であって、排出液の濃度を測定し、測定値が予め定めた管理範囲内にある時は排出液を回収し、該管理範囲外の時は該排出液を廃棄することを特徴とする薬液の回収方法。
IPC (3件)：
G03F 7/30 501
, G02F 1/13 101
, H01L 21/027
G03F 7/30 501
, G02F 1/13 101
, H01L 21/30 569 A
