特許

J-GLOBAL ID：200903083054980440

切削装置

発明者： 関家 一馬 ,  石井 茂
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-052665
公開番号（公開出願番号）：特開2007-229843
出願日： 2006年02月28日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】被加工物の種類や加工条件が異なる場合においても、被加工物の種類や加工条件に対応してそれらに適した切削ブレードを交換することができる切削ブレード交換機能を有する切削装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、チャックテーブル機構に保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードを装着した回転スピンドルを備えた切削手段6a、6bと、交換すべき切削ブレードを収容するブレード収容手段を備えたブレードラック71a、71bと、回転スピンドルに装着されている切削ブレードとブレードラックに収容されている交換すべき切削ブレードとを交換するブレード交換手段7とを具備する切削装置であって、ブレードラックは交換すべき複数の種類の切削ブレードを収容する複数のブレード収容部を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードと該切削ブレードを装着した回転スピンドルを備えた切削手段と、交換すべき切削ブレードを収容するブレードラックと、該回転スピンドルに装着されている切削ブレードと該ブレードラックに収容されている交換すべき切削ブレードとを交換するブレード交換手段と、を具備する切削装置において、 該ブレードラックは、交換すべき複数の種類の切削ブレードを収容する複数のブレード収容部を備えている、 ことを特徴とする切削装置。

IPC (3件)：

B24B 45/00 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

B24B45/00 A ,  B24B27/06 M ,  H01L21/78 F

Fターム (6件)：

3C034AA19 ,  3C034BB65 ,  3C058AA03 ,  3C058AA15 ,  3C058AA18 ,  3C058CB03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第2617876号公報
  

審査官引用 (3件)

• オートブレードチェンジャー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-090771   出願人：株式会社ディスコ, 上田日本無線株式会社
• 特開昭58-126064
  
• ブレードオートチェンジャー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-032819   出願人：株式会社ディスコ