特許
J-GLOBAL ID：200903083055022737
三次元形状測定装置および三次元形状測定装置におけるZ軸ステージ
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193438
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318728
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 測定用プローブと各軸移動量の測定用レーザ干渉器をZ軸テーブルに搭載し、形状測定機の三軸機構がいかに動いても、レーザ干渉器の各光軸の交点に測定点がくるようにし、姿勢不良に伴って発生するアッベの測定誤差をキャンセルする。【解決手段】 定盤1上の水平面内を移動するXY二軸ステージ3,4と、その上に立設されたZ軸ステージ6と、ステージ重量を補償する重力補償ばね19とを有する。Z軸イケール5に、単軸のエアスライド7をガイド軸として取り付け、該ガイド軸を動かす駆動力としてボイスコイルモータ8を用い、プローブ10と各軸移動量の測定用レーザ干渉器13を搭載したZ軸テーブルをZ軸方向に移動可能とする。これを精度良く動かすために、Z軸イケール5にリニアスケール検出ヘッドを、エアスライド側面にリニアスケール格子部を設ける。
請求項（抜粋）：
定盤上に固着された被測定物の形状測定用変位測定プローブを搭載し、該プローブを前記被測定物に対して、三次元方向に移動させる移動手段と、該移動手段の移動量を測定する測定手段と、前記変位測定プローブ内から前記被測定物にレーザ光を照射するレーザ光照射手段とを備え、前記レーザ光照射手段から前記被測定物にレーザ光が照射され、該被測定物から反射されるレーザ光に基づいて、前記移動手段が被測定物と前記プローブとの距離を一定に保つように移動させ、前記測定手段が前記移動手段の移動量を測定することにより前記被測定物の形状を測定する三次元形状測定装置において、前記測定手段が、同一平面上にない三軸のレーザ測長器を用いて、前記移動手段による移動量を測定し、該レーザ測長器のレーザ光の光軸の交点を被測定物の測定点とすることを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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