有機電界発光装置の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-286466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214154
出願日： 1998年10月08日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】有機電界発光素子の特性を劣化させることなく幅広い蒸着条件下で高精度な微細パターニングを可能とし、しかも、発光装置の構造を限定することなく比較的簡略な工程で高い安定性を実現することである。【解決手段】基板上に形成された第一電極と、少なくとも有機化合物からなる発光層を含み前記第一電極上に形成された薄膜層と、前記薄膜層上に形成された複数の第二電極とを含み、前記基板上に複数の発光領域を有する有機電界発光装置の製造方法であって、少なくとも一部分が前記薄膜層の厚さを上回る高さをもつスペーサーを前記基板上に形成する工程と、開口部を横切るようにして形成された補強線を有するシャドーマスクを前記スペーサー層に密着させた状態で蒸着物を蒸着せしめることによりパターニングする工程とを含むことを特徴とする有機電界発光装置の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第一電極と、少なくとも有機化合物からなる発光層を含み前記第一電極上に形成された薄膜層と、前記薄膜層上に形成された複数の第二電極とを含み、前記基板上に複数の発光領域を有する有機電界発光装置の製造方法であって、少なくとも一部分が前記薄膜層の厚さを上回る高さをもつスペーサーを前記基板上に形成する工程と、開口部を横切るようにして形成された補強線を有するシャドーマスクを前記スペーサーに密着させた状態で蒸着物を蒸着せしめることによりパターニングする工程とを含むことを特徴とする有機電界発光装置の製造方法。

IPC (5件)：

H05B 33/10 , C09K 11/06 645 , G09F 9/00 353 , H05B 33/14 , H05B 33/22

FI (6件)：

H05B 33/10 , C09K 11/06 645 , G09F 9/00 353 , H05B 33/14 A , H05B 33/22 Z , H05B 33/22 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-032043 出願人：パイオニア株式会社
特開昭62-202491
特開昭60-100673

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