特許

J-GLOBAL ID：200903083080125559

ダイヤフラムバルブ、基板処理ユニットおよび基板処理装置

発明者： 森田 彰彦
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384614
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185053
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 バルブ開閉時にも安定した液供給を行うことができるダイヤフラムバルブを提供する。【解決手段】 ダイヤフラム15を弁座16に密着させることによって流路25が閉鎖され、ダイヤフラム15を弁座16から離間させることによって流路25が開放される。開閉用のダイヤフラム15と同一形状のダイヤフラム22はリンク棒23によってダイヤフラム15と連結されている。従って、ダイヤフラム22はダイヤフラム15と機械的に連動され、ダイヤフラム15が作動したときに下流側流路25bに生じる容積変化を補償するようにダイヤフラム22は作動する。その結果、ダイヤフラム15を急速に作動させたとしても、それにともなう容積変化はダイヤフラム22によって直ちに補償され、下流側流路25bにレジストの引き戻しや押し出しが生じることはない。

請求項（抜粋）：

液体が流入する1つの流入口と該液体が流出する1つの流出口とを有するダイヤフラムバルブであって、前記流入口から前記流出口に至る流路に設けられた弁座に密着することによって前記流路を閉鎖することとと前記弁座から離間することによって前記流路を開放することとが可能な開閉用ダイヤフラムと、前記流路を閉鎖する閉状態と前記流路を開放する開状態との間で前記開閉用ダイヤフラムを作動させる作動手段と、前記開閉用ダイヤフラムよりも前記流路の前記流出口側に設けられ、前記開閉用ダイヤフラムが作動したときに前記流路のうち前記開閉用ダイヤフラムよりも前記流出口側の二次側流路に生じる容積変化を補償する容積変化補償手段と、を備えることを特徴とするダイヤフラムバルブ。

IPC (5件)：

F16K 31/126 ,  B05C 11/10 ,  B08B 3/02 ,  F16K 7/17 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

F16K 31/126 Z ,  B05C 11/10 ,  B08B 3/02 B ,  F16K 7/17 A ,  H01L 21/30 564 C

Fターム (38件)：

3B201AA01 ,  3B201AB23 ,  3B201AB33 ,  3B201AB44 ,  3B201AB47 ,  3B201BB09 ,  3B201BB22 ,  3B201BB32 ,  3B201BB82 ,  3B201BB92 ,  3B201CD41 ,  3H056AA07 ,  3H056BB50 ,  3H056CA07 ,  3H056CB03 ,  3H056CC12 ,  3H056CD04 ,  3H056DD04 ,  3H056EE03 ,  3H056GG04 ,  3H056GG11 ,  4F042AA06 ,  4F042AA07 ,  4F042BA11 ,  4F042CB08 ,  4F042CB11 ,  4F042CB19 ,  4F042DA01 ,  4F042DF09 ,  4F042DF25 ,  4F042DF32 ,  4F042EB09 ,  4F042EB13 ,  4F042EB17 ,  4F042EB21 ,  5F046JA02 ,  5F046JA03 ,  5F046JA27

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 背圧制御弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-276942   出願人：アドバンス電気工業株式会社