特許
J-GLOBAL ID:200903011562517054
背圧制御弁
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
後藤 憲秋 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-276942
公開番号(公開出願番号):特開2001-099344
出願日: 1999年09月29日
公開日(公表日): 2001年04月10日
要約:
【要約】【課題】 弁機構体の動作時の反復精度が良好で一次側の流体の圧力を精度良く制御でき、しかも、二次側の圧力変動の影響を受けない背圧制御弁の構造を提供する。【解決手段】 第一チャンバ12と第二チャンバ14と弁座17が形成された連通流路16を有するボディ本体11と、前記弁座を開閉する弁部22を有するロッド部21と前記第一チャンバ内に配される第一ダイヤフラム部30と前記第二チャンバ内に配される第二ダイヤフラム部40とを備える弁機構体20とからなり、第一ダイヤフラム部外側の第一調圧室52には前記第一ダイヤフラム部をその内側の第一弁室51方向に所定圧力で調圧する第一調圧手段M1が設けられているとともに、前記第二ダイヤフラム部外側の第二調圧室57には前記第二ダイヤフラム部をその内側の第二弁室56方向に所定圧力で調圧する第二調圧手段M2が設けられている背圧制御弁10。
請求項(抜粋):
一次側の流体を所定の圧力状態に制御する制御弁(10)であって、被制御流体の流入部(13)を有する第一チャンバ(12)と、被制御流体の流出部(15)を有する第二チャンバ(14)と、前記第一チャンバと第二チャンバとを連通しかつ弁座(17)が形成された連通流路(16)を有するボディ本体(11)と、前記連通流路の第一チャンバ側に位置して前記弁座を開閉する弁部(22)を有するロッド部(21)と、前記ロッド部の一側に設けられ前記第一チャンバ内に配される第一ダイヤフラム部(30)と、同じく前記ロッド部の他側に設けられ前記第二チャンバ内に配される第二ダイヤフラム部(40)とを備える弁機構体(20)とからなり、前記第一ダイヤフラム部はその外周部(32)が前記第一チャンバを構成するボディ本体に固定され、該第一チャンバを第一ダイヤフラム部内側の前記流入部を含む第一弁室(51)と外側の第一調圧室(52)に区画し、前記第二ダイヤフラム部はその外周部(42)が前記第二チャンバを構成するボディ本体に固定され、該第二チャンバを第二ダイヤフラム部内側の前記流出部を含む第二弁室(56)と外側の第二調圧室(57)に区画し、前記第一調圧室には前記第一ダイヤフラム部を所定方向に所定設定圧力で調圧する第一調圧手段(M1)が設けられているとともに、前記第二調圧室には前記第二ダイヤフラム部を所定方向に所定設定圧力で調圧する第二調圧手段(M2)が設けられていることを特徴とする背圧制御弁。
IPC (4件):
F16K 17/02
, F16K 17/06
, F16K 31/126
, G05D 16/06
FI (5件):
F16K 17/02 A
, F16K 17/06 B
, F16K 17/06 A
, F16K 31/126 Z
, G05D 16/06 S
Fターム (37件):
3H056AA01
, 3H056BB24
, 3H056BB36
, 3H056CA07
, 3H056CB02
, 3H056CB07
, 3H056CD01
, 3H056CD03
, 3H056CD06
, 3H056EE06
, 3H056GG02
, 3H056GG04
, 3H056GG14
, 3H059AA06
, 3H059BB03
, 3H059BB05
, 3H059BB06
, 3H059BB23
, 3H059CD05
, 3H059CD12
, 3H059CE06
, 3H059EE01
, 3H059FF01
, 3H059FF05
, 3H059FF10
, 3H059FF11
, 5H316AA20
, 5H316BB07
, 5H316DD06
, 5H316EE02
, 5H316EE10
, 5H316EE12
, 5H316JJ08
, 5H316JJ13
, 5H316KK01
, 5H316KK04
, 5H316KK08
引用特許:
出願人引用 (6件)
-
流量コントロールバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-264935
出願人:アドバンス電気工業株式会社
-
流体コントロールバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-106056
出願人:アドバンス電気工業株式会社
-
流量コントロ-ルバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-370486
出願人:アドバンス電気工業株式会社
-
減圧弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-263369
出願人:エスエムシー株式会社
-
流体圧制御用ダイヤフラム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-334121
出願人:エスエムシー株式会社
-
流量測定方法および流量測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-098990
出願人:アドバンス電気工業株式会社
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審査官引用 (6件)
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流量コントロールバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-264935
出願人:アドバンス電気工業株式会社
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流体コントロールバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-106056
出願人:アドバンス電気工業株式会社
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流量コントロ-ルバルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-370486
出願人:アドバンス電気工業株式会社
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減圧弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-263369
出願人:エスエムシー株式会社
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流体圧制御用ダイヤフラム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-334121
出願人:エスエムシー株式会社
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流量測定方法および流量測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-098990
出願人:アドバンス電気工業株式会社
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