特許
J-GLOBAL ID：200903083099472985
ヘリウムリークディテクタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤澤 一博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159659
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015082
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】グロスリークに伴って油回転真空ポンプの油に大量のHeが混入した場合にも、速やかに質量分析部のバックグランド値を低下させて、リークテストを有効に再開できるようにする。【構成】質量分析部ANALが敷居値を越える測定値を検出した場合に、マイクロコンピュータユニット4がグロスリークと判定して、RP2のガスバラスト口21に取り付けてある電磁弁GBVを一定時間開に保持する制御を行う。このとき、ガスバラスト口21を介してRP2内に大気が導入され、油中に溶け込んでいるHeの気泡を撹拌し、速やかにRP2から外部に排出する。このため、グロスリーク発生後のリークテスト時にRP2からHeが再放出される不具合、これに起因した質量分析部ANALにおけるバックグラウンド値の上昇の問題が解消される。
請求項（抜粋）：
ヘリウムのみを検出する質量分析部と、この質量分析部を被試験体と共に真空排気するメインポンプと、このメインポンプのバックポンプとして機能する油回転真空ポンプとを具備してなるものにおいて、前記油回転真空ポンプに、ガスバラスト口を備えたものを採用し、そのガスバラスト口に選択的に開閉可能な電磁弁を設けるとともに、前記質量分析部で測定されるヘリウム測定値が予め定めた敷居値を上回った場合に前記電磁弁を一定時間開に保持する制御を行う制御手段を設けてなることを特徴とするヘリウムリークディテクタ。
FI (2件)：
G01M 3/20 B
, G01M 3/20 E
