透明導電膜及びその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-299859
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150724
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】透光性が良好で、電気抵抗が低く、大電流用電極として使用できる透明導電膜及びその作製方法を提供すること。【構成】基板1の上面に(100)方向に結晶配向したITO膜2内の膜厚方向に一定周期毎に非晶質層3,3を設けたこと。

請求項（抜粋）：