特許

J-GLOBAL ID：200903083158695551

透明導電膜及びその作製方法

発明者： 宇城 共子 ,  谷口 浩 ,  赤木 与志郎
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-299859
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150724
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】 透光性が良好で、電気抵抗が低く、大電流用電極として使用できる透明導電膜及びその作製方法を提供すること。【構成】 基板1の上面に(100)方向に結晶配向したITO膜2内の膜厚方向に一定周期毎に非晶質層3,3を設けたこと。

請求項（抜粋）：

基板面に(100)方向に結晶配向したスズ添加酸化インジウム膜を設けたことを特徴とする透明導電膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  C23C 14/08 ,  C30B 29/16 ,  H01B 13/00 503

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-089436
  
• 特開平4-173958
  
• 特開平1-311511
  
• 透明導電体材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-150479   出願人：シャープ株式会社