特許
J-GLOBAL ID：200903083172528773

電磁波を用いる検査装置及び方法

発明者：
塩田 道徳

塩田 道徳 について

, 
尾内 敏彦

尾内 敏彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-197526
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026087
出願日： 2006年07月20日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】感光体などの帯電可能な材料の検査物の厚みや帯電量ないし電位などである電気特性に関わる情報の分布を正確に検査ないし検出することが可能な検査装置及び方法を提供することである。【解決手段】検査装置は、少なくとも表面が帯電可能な材料からなる検査物5に対して、電磁波発生器1から発生した電磁波を相対的に移動させて照射できる様に構成される。検査物5で反射した反射電磁波4または検査物を透過した透過電磁波を検出する電磁波検出器2を設けて、この検出結果を用いて検査物の電気特性に関わる情報の分布を取得する。電磁波検出器2によって検知される反射電磁波または透過電磁波の最大振幅を、予め用意した検量線と比較することによって、電磁波3の照射位置における検査物5の電気特性に関わる情報の分布を取得することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも表面が帯電可能な材料からなる検査物に対して、電磁波発生器から発生した電磁波を相対的に移動させて照射できる様に構成され、 検査物で反射した反射電磁波または検査物を透過した透過電磁波を検出する電磁波検出器を設けて、この検出結果を用いて検査物の電気特性に関わる情報の分布を取得することを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/35 ,  G01R 29/24 ,  G01R 29/12 ,  G01N 22/00
FI (7件)：
G01N21/35 Z ,  G01R29/24 G ,  G01R29/24 J ,  G01R29/12 F ,  G01N22/00 P ,  G01N22/00 Z ,  G01N22/00 S
Fターム (7件)：
2G059AA03 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059HH01 ,  2G059MM04 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM