特許
J-GLOBAL ID：200903083195269341
透明板状体の欠陥検査方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005019408
公開番号（公開出願番号）：WO2006-057125
出願日： 2005年10月21日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：
透明板状体が大きくになるに連れて検査性能が劣化するという従来技術の問題点を解消する。 透明板状体1の主表面側に配設された線状光源2およびカメラ3を有する第1の反射型明視野光学系を用いて透明板状体1の主表面の画像を撮像(以下、第1の画像という)するステップと、同様にして透明板状体1の裏面の画像(以下、第2の画像という)を撮像するステップと、第1および第2の画像のそれぞれについて欠陥候補を探索するステップと、この探索の結果に基づき第1および第2の画像の互いに対応する位置に欠陥候補があるかどうかを確認し、第1および第2の画像の両方から欠陥候補が見つかった場合は、この欠陥候補を欠陥とみなし、第1および第2の画像の片方のみから欠陥候補が見つかった場合は、この欠陥候補を擬似欠陥とみなすステップとを有する。
請求項（抜粋）：
透明板状体に存在する泡、傷、異物等の欠陥検査方法であって、
透明板状体の主表面側に配設された、線状光源およびカメラを有する第1の反射型明視野光学系を用いて前記透明板状体の主表面の画像(以下、第1の画像という)を撮像するステップと、
前記透明板状体の裏面側に配設された、線状光源およびカメラを有する第2の反射型明視野光学系とを用いて前記透明板状体の裏面の画像(以下、第2の画像という)を撮像するステップと、
前記第1および第2の画像のそれぞれについて欠陥候補を探索するステップと、
この探索の結果に基づき前記第1および第2の画像の互いに対応する位置に欠陥候補があるかどうかを確認し、前記第1および第2の画像の両方から欠陥候補が見つかった場合は、この欠陥候補を欠陥とみなし、前記第1および第2の画像の片方のみから欠陥候補が見つかった場合は、この欠陥候補を擬似欠陥とみなすステップと
を有することを特徴とする透明板状体の欠陥検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G051AA42
, 2G051AA84
, 2G051AB02
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051AB08
, 2G051BB01
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051DA06
