特許
J-GLOBAL ID：200903083220727228
パタ-ンデ-タ検証方法およびパタ-ンデ-タ補正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251708
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155408
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 自動光近接効果補正ソフトのデータ検証を容易に行う。【解決手段】 処理対象となるデータを階層構造処理部11に入力し、入力データの階層構造を解析し展開処理する。この処理されたデータを補正処理部12で補正処理を行うが、この時に補正量を0として補正し、出力データ構成部13へデータを転送し、データ出力を行う。この様にして出力データ構成部13から出力される出力データと、入力データとをデータ比較部14で比較する。この比較はブール関数の排他的論理和処理で可能であり、入力データと出力データの排他的論理和の結果が0であればデータ処理に問題がなかったことになり、結果が1であればデータ処理に問題があることになる。この検証方法を用いれば、ソフトウェアが入力データの階層構造を解析し展開処理した際のデータ検証を容易に短時間で行える。
請求項（抜粋）：
パターンデータを入力する工程と、前記入力されたパターンデータの階層構造を解析し展開処理する工程と、前記階層構造の展開処理が行われたデータを補正処理する工程と、前記補正処理を行ったデータを出力する工程と、前記補正処理において補正量を0として補正されて出力されたデータと前記入力されたパターンデータとを比較することで前記階層構造の展開処理の正誤を判定する工程とを含むことを特徴とするパターンデータ検証方法。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, G06F 17/50
, H01L 21/027
G03F 1/08 S
, G06F 15/60 666 E
, G06F 15/60 666 Z
, H01L 21/30 502 V
