特許
J-GLOBAL ID：200903083262212104

弾性表面波素子および弾性表面波素子の製造方法

発明者：
岩崎 拓哉

岩崎 拓哉 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328362
公開番号（公開出願番号）：特開平11-088101
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 酸や水に溶解する性質を有する圧電性基板を用いた場合でも周波数特性の優れた、信頼性、耐久性の高い弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 Li2 B4 O7 (LBO)からなる圧電性基板101と、この圧電性基板上に形成されたSiO2 からなる膜厚hの第1の誘電体膜102と、この第1の誘電体膜102上に形成されたアルミニウム薄膜からなるピッチLの櫛歯状電極103bとをする弾性表面波素子100の第1の誘電体膜102を、その膜厚と比誘電率が、電気機械結合係数k2 が約0.74%より大きくなるように選択して形成する。
請求項（抜粋）：
四硼酸リチウムからなる圧電性基板と、この圧電性基板上に配設された第1の誘電体膜と、前記第1の誘電体膜上に前記第1の誘電体膜を介して前記圧電性基板と電気機械結合するように配設された櫛歯状電極と、この櫛歯状電極を覆うように配設された第2の誘電体膜とを具備したことを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25
FI (3件)：
H03H 9/145 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C
引用特許：
審査官引用 (14件)
  • 特開昭59-079622
  • 弾性表面波装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-119394   出願人：京セラ株式会社
  • 特開平4-158612
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