弾性表面波装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柿本恭成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-008420
公開番号（公開出願番号）：特開平8-204493
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】弾性表面波装置の歩留まりを向上する。【構成】電気信号と弾性表面波間の変換を行うIDT60,70は圧電基板51上に形成されている。保護膜80は圧電基板51の弾性表面波の伝搬路とIDT60,70の弾性表面波励振電極部61,71とを、機械的損傷と汚染から守るものである。下地電極63,73が弾性表面波励振電極部61,71と圧電基板51の密着性を向上させ、例えばクロムの金属膜64,74は、各弾性表面波励振電極部61,71と保護膜80のSiO2 の密着性を高めている。そのため、弾性表面波装置の製造時に、保護膜80が剥離することがなくなり、弾性表面波の伝搬路及び弾性表面波励振電極部61,71が、機械的損傷と汚染から守られる。

請求項（抜粋）：

圧電基板上にすだれ状に形成されて電気信号と弾性表面波間の変換を行う弾性表面波励振電極部と、前記弾性表面波励振電極部及び前記圧電基板の前記弾性表面波の伝搬路上に形成された保護膜とを、備えた弾性表面波装置において、前記弾性表面波励振電極部上に堆積され、該弾性表面波励振電極部と前記保護膜との密着性を高める金属或いは絶縁体を設けたことを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2件)：

H03H 9/145 , H03H 3/08

引用特許：

審査官引用 (1件)

弾性表面波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-135483 出願人：富士通株式会社

前のページに戻る