光学式測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124583
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304022
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】倍率を変化させたときの課題を解消できる光学式測定装置を提供する。【解決手段】被測定物に光を照射する照明系(照明装置25)と、変倍光学系(モータ44など)と、この変倍光学系で変倍された被測定物の像を観察可能な観察光学系(CCDカメラ24)とを備えた光学式測定装置であって、前記変倍光学系による変倍時にその倍率変化に応じて前記照明系の光量を変化させる光量調整手段(CPU71)を備える。変倍光学系によって倍率が変化しても、その倍率変化に応じて照明系の光量が自動的に変化するから、常に一定の明るさで被測定物を観察することができる。

請求項（抜粋）：

被測定物に光を照射する照明系と、変倍光学系と、この変倍光学系で変倍された被測定物の像を観察可能な観察光学系とを備えた光学式測定装置であって、前記変倍光学系による変倍時にその倍率変化に応じて前記照明系の光量を変化させる光量調整手段を備えていることを特徴とする光学式測定装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

微小径測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-107668 出願人：株式会社ミツトヨ

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